Eesti teaduse teekaardi objekt NAMUR+
HR-SEM teenus
Tallinna Tehnikaülikooli Materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut pakub võimalust kasutada kõrglahutusega skaneeriva elektronmikroskoobi (HR-SEM) Zeiss MERLIN uuringute teenust materjalide topograafia, element- ja faasikoostise ning elektriliste omaduste määramiseks.
Objekti pinnastruktuuri ja topograafia uurimiseks ning osakeste suuruse või kilede paksuse jms määramiseks nanomeeter skaalal (Zeiss MERLIN ruumiline lahutusvõime on alla 1 nm) on võimalik kasutada erinevaid detektoreid (SE, BSE, In-LensSE, In-LensBE jt). Zeiss Merlin HR-SEM võimaldab uurida nii juhtivatest, magnetiseeruvatest kui ka mittejuhtivatest materjalidest valmistatud objekte. Uuritava objekti elementkoostise (elementide vahemik Be – Am) määramiseks kasutatakse energiadispersiivset röntgenspektroskoopiat (EDS), keemilise faasikoostise kindlakstegemiseks aga tagasipeegeldunud elektronide difraktsiooni (EBSD). Elektriliste omaduste määramiseks on kasutusel elektronkiire indutseeritud voolu meetod (EBIC).
Objektide täiendav ettevalmistus (ristlõigete tegemine, metallikihiga katmine, poleerimine jne) sisaldub pakutavas teenuses. On võimalik kasutada magnetron pihustamist objektide katmiseks üliõhukese (0.1-10 nm) juhtiva metallikihiga (Au, Pd, Pt, C jne), pinna keemilist söövitust või ioonsöövitust Ar ioonidega. Lihvimise abil on võimalik teha objektidest sh metalsetest objektidest ristlõikeid.
NAMUR+ raames hangitav manipulaatorite süsteem „miBotTM BT-14 on the 4-Bot stage“ (Imina Technologies) võimaldab teostada elektrilisi mõõtmisi mikro- ja nanomõõtmetes objektidel valgus- ja elektronmikroskoobi abil. Süsteem koosneb neljast manipulaatorist, mille sonde on võimalik iseseisvalt liigutada objektil millimeetrite ulatuses ja resolutsioon on kuni 40 nm.
HR-SEM uuringuid teostab seadme operaator. Spetsialistid aitavad uuringutest huvitatud osapooltel leida parima lahenduse teaduslik-tehnilise probleemi lahendamiseks ning osutavad abi mõõtmistulemuste interpreteerimisel ning analüüsimisel.
- Kontaktisik: Marit Kauk-Kuusik (e-mail: marit.kauk-kuusik@ttu.ee)
- SEM operaatorid: Olga Volobujeva, Valdek Mikli
Eesti teadustaristu teekaardi objekt „Nanomaterjalide tehnoloogiate ja uuringute keskus (NAMUR+)” on kaasrahastatud Euroopa Regionaalarengu Fondist (projektid „Nanomaterjalid – rakendused ja uuringud“, 3.2.0304.12-0397, 01.02.2012-31.12.2015 ja „Nanomaterjalide tehnoloogiate ja uuringute keskus”, 2014-2020.4.01.16-0123, 01.01.2017 – 30.06.2022 ).
