{"id":12,"date":"2024-04-04T01:33:46","date_gmt":"2024-04-04T01:33:46","guid":{"rendered":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/sem-teenus\/"},"modified":"2026-01-11T00:39:39","modified_gmt":"2026-01-10T22:39:39","slug":"sem-teenus","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/sem-teenus\/","title":{"rendered":"HR-SEM teenus"},"content":{"rendered":"<p>Tallinna Tehnika\u00fclikooli Materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut pakub v\u00f5imalust kasutada\u00a0 <strong>k\u00f5rglahutusega skaneeriva elektronmikroskoobi (HR-SEM) Zeiss MERLIN uuringute teenust<\/strong> materjalide topograafia, element- ja faasikoostise ning elektriliste omaduste m\u00e4\u00e4ramiseks.<\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<div class=\"wp-block-columns is-layout-flex wp-container-core-columns-is-layout-9d6595d7 wp-block-columns-is-layout-flex\">\n<div class=\"wp-block-column is-layout-flow wp-block-column-is-layout-flow\">\n<p><\/p>\n\n\n\n<p>Objekti pinnastruktuuri ja topograafia uurimiseks ning osakeste suuruse v\u00f5i kilede paksuse jms m\u00e4\u00e4ramiseks nanomeeter skaalal (Zeiss MERLIN ruumiline lahutusv\u00f5ime on alla 1 nm) on v\u00f5imalik kasutada erinevaid detektoreid (SE, BSE, In-LensSE, In-LensBE jt). Zeiss Merlin HR-SEM v\u00f5imaldab uurida nii juhtivatest, magnetiseeruvatest kui ka mittejuhtivatest materjalidest valmistatud objekte. Uuritava objekti elementkoostise (elementide vahemik Be \u2013 Am) m\u00e4\u00e4ramiseks kasutatakse energiadispersiivset r\u00f6ntgenspektroskoopiat (EDS), keemilise faasikoostise kindlakstegemiseks aga tagasipeegeldunud elektronide difraktsiooni (EBSD). Elektriliste omaduste m\u00e4\u00e4ramiseks on kasutusel elektronkiire indutseeritud voolu meetod (EBIC).<\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<p> Objektide t\u00e4iendav ettevalmistus (ristl\u00f5igete tegemine, metallikihiga katmine, poleerimine jne) sisaldub pakutavas teenuses. On v\u00f5imalik kasutada magnetron pihustamist objektide katmiseks \u00fcli\u00f5hukese (0.1-10 nm) juhtiva metallikihiga (Au, Pd, Pt, C jne), pinna keemilist s\u00f6\u00f6vitust v\u00f5i ioons\u00f6\u00f6vitust Ar ioonidega. Lihvimise abil on v\u00f5imalik teha objektidest sh metalsetest objektidest ristl\u00f5ikeid.<\/p>\n<\/div>\n\n\n\n<div class=\"wp-block-column is-layout-flow wp-block-column-is-layout-flow\">\n<figure class=\"wp-block-image size-large\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/sisu.ut.ee\/wp-content\/uploads\/sites\/293\/merlin_tty.jpg\" alt=\"\"><\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<p><strong>NAMUR+<\/strong> raames hangitav manipulaatorite s\u00fcsteem \u201emiBot<sup>TM<\/sup> BT-14 on the 4-Bot stage\u201c (Imina Technologies) v\u00f5imaldab teostada elektrilisi m\u00f5\u00f5tmisi mikro- ja nanom\u00f5\u00f5tmetes objektidel valgus- ja elektronmikroskoobi abil. S\u00fcsteem koosneb neljast manipulaatorist, mille sonde on v\u00f5imalik iseseisvalt liigutada objektil millimeetrite ulatuses ja resolutsioon on kuni 40 nm.\u00a0 <\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<div class=\"wp-block-group is-nowrap is-layout-flex wp-container-core-group-is-layout-ad2f72ca wp-block-group-is-layout-flex\">\n<figure class=\"wp-block-image size-large is-resized\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/sisu.ut.ee\/wp-content\/uploads\/sites\/293\/hr-sem_sondid.png\" alt=\"\" style=\"width:491px;height:auto\"><\/figure>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image size-large is-resized\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/sisu.ut.ee\/wp-content\/uploads\/sites\/293\/hr-sem_sondid_arvutil.png\" alt=\"\" style=\"width:490px;height:auto\"><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<div class=\"wp-block-group is-layout-constrained wp-block-group-is-layout-constrained\">\n<p>HR-SEM uuringuid teostab seadme operaator. Spetsialistid aitavad uuringutest huvitatud osapooltel leida parima lahenduse teaduslik-tehnilise probleemi lahendamiseks ning osutavad abi m\u00f5\u00f5tmistulemuste interpreteerimisel ning anal\u00fc\u00fcsimisel.<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Kontaktisik: <strong>Marit Kauk-Kuusik<\/strong> (e-mail: marit.kauk-kuusik@taltech.ee)<\/li>\n\n\n\n<li>SEM operaator: <strong>Valdek Mikli<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p><em>Eesti teadustaristu teekaardi objekt \u201eNanomaterjalide tehnoloogiate ja uuringute keskus (NAMUR+)\u201d\u00a0on kaasrahastatud Euroopa Regionaalarengu Fondist (projektid \u201eNanomaterjalid \u2013 rakendused ja uuringud\u201c,\u00a03.2.0304.12-0397, 01.02.2012-31.12.2015\u00a0ja \u201eNanomaterjalide tehnoloogiate ja uuringute keskus\u201d, 2014-2020.4.01.16-0123, 01.01.2017 \u2013 30.06.2022 ) ning Eesti Teadusagentuuri poolt (projektid <em>TARISTU24-TK26<\/em><\/em>, <em>IUT20-54 ja TT13).<\/em><\/p>\n<\/div>\n\n\n\n<p>\u00a0<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Tallinna Tehnika\u00fclikooli Materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut pakub v\u00f5imalust kasutada\u00a0 k\u00f5rglahutusega skaneeriva elektronmikroskoobi (HR-SEM) Zeiss MERLIN uuringute teenust materjalide topograafia, element- ja faasikoostise ning elektriliste omaduste m\u00e4\u00e4ramiseks. Objekti pinnastruktuuri ja topograafia uurimiseks ning osakeste suuruse v\u00f5i kilede paksuse jms m\u00e4\u00e4ramiseks nanomeeter &#8230;<\/p>\n","protected":false},"author":157,"featured_media":0,"parent":0,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"_acf_changed":false,"inline_featured_image":false,"footnotes":""},"class_list":["post-12","page","type-page","status-publish","hentry"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/12","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/users\/157"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=12"}],"version-history":[{"count":30,"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/12\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":453,"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/12\/revisions\/453"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/sisu.ut.ee\/namurplus\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=12"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}